Предности скенирајућег електронског микроскопа
1. Фактор увећања
Због фиксне величине флуоресцентног екрана скенирајућег електронског микроскопа, промена увећања се постиже променом амплитуде скенирања електронског зрака на површини узорка.
Ако се смањи струја намотаја за скенирање, амплитуда скенирања електронског зрака на узорку ће се смањити, а фактор појачања ће се повећати. Подешавање је веома згодно и може се континуирано подешавати од 20к до око 200000 пута.
2. Резолуција
Резолуција је главни индикатор перформанси скенирајуће електронске микроскопије.
Резолуција је одређена пречником упадног електронског снопа и типом модулационог сигнала Ко-одређивање:
Што је мањи пречник електронског снопа, већа је резолуција.
Физички сигнали који се користе за снимање разликују се по резолуцији.
На пример, СЕ и БЕ електрони имају различите опсеге емисије и резолуције на површини узорка. Резолуција СЕ је генерално око 5-10нм, док је БЕ око 50-200нм.
3. Дубина поља
Односи се на опсег способности сочива да истовремено фокусира и слика различите делове неуједначеног узорка.
Завршно сочиво скенирајућег електронског микроскопа користи мали угаони отвор и велику жижну даљину, тако да се може добити велика дубина поља. Она је 100-500 пута већа од дубине поља општег оптичког микроскопа и 10 пута већа од дубине поља трансмисионог електронског микроскопа.
Истакнуте карактеристике СЕМ-а су велика дубина поља, снажан тродимензионални осећај и реалистична морфологија.
Узорци који се користе за скенирајућу електронску микроскопију подељени су у две категорије:
1 је узорак са добром проводљивошћу, који генерално може да задржи свој првобитни облик и може се посматрати под електронским микроскопом без или са благим чишћењем;
2 је непроводни узорак, или узорак са губитком воде, ослобађањем гаса или деформацијом скупљања у вакууму, који треба правилно третирати пре него што се може обавити посматрање.
