Предности скенирајуће електронске микроскопије
1. Увећање
Пошто је величина флуоресцентног екрана скенирајућег електронског микроскопа фиксна, промена увећања се остварује променом амплитуде скенирања електронског зрака на површини узорка.
Ако се струја завојнице за скенирање смањи, опсег скенирања електронског снопа на узорку ће бити смањен и увећање ће се повећати. Подешавање је веома згодно и може се непрекидно подешавати од 20 пута до око 200,000 пута.
2. Резолуција
Резолуција је главни индекс учинка СЕМ-а.
Резолуција је одређена пречником упадног електронског снопа и типом модулационог сигнала:
Што је мањи пречник снопа електрона, већа је резолуција.
Различити физички сигнали који се користе за снимање имају различите резолуције.
На пример, СЕ и БЕ електрони имају различите опсеге емисије на површини узорка, а њихове резолуције су различите. Генерално, резолуција СЕ је око 5-10 нм, а БЕ је око 50-200 нм.
3. Дубина поља
Односи се на низ могућности да сочиво може истовремено да фокусира и слика на различитим деловима узорка са неравнинама.
Завршно сочиво скенирајућег електронског микроскопа усваја мали угао отвора бленде и велику жижну даљину, тако да се може добити велика дубина поља, која је 100-500 пута већа од оне код општег оптичког микроскопа и 10 пута већа од онај трансмисионог електронског микроскопа.
Велика дубина поља, снажан тродимензионални осећај и реалистичан облик су изванредне карактеристике СЕМ-а.
Узорци за СЕМ су подељени у две категорије:
1 је узорак са добром проводљивошћу, који генерално може да задржи свој првобитни облик и може се посматрати у електронском микроскопу без или уз мало чишћења;
2. Непроводни узорци, или узорци који губе воду, гасе, скупљају се и деформишу у вакууму, морају бити правилно третирани пре него што се могу посматрати.
