Електронски микроскоп има неколико делова
Електронски микроскоп се састоји од три дела: цеви сочива, вакуум уређаја и ормарића за напајање.
1. Цијев сочива углавном укључује изворе електрона, електронска сочива, држаче узорака, флуоресцентне екране и детекторе. Ове компоненте се обично склапају у цилиндар од врха до дна.
Електронско сочиво се користи за фокусирање електрона и најважнија је компонента у цеви електронског микроскопа. Генерално, користе се магнетна сочива, а понекад се користе и електростатичка сочива.
2. Вакум уређај се користи за осигурање вакуумског стања у микроскопу, тако да се електрони неће апсорбовати или скренути на свом путу. Састоји се од механичке вакуум пумпе, дифузионе пумпе и вакуумског вентила, а повезан је са цеви сочива кроз издувну цев.
3. Орман за напајање се састоји од високонапонског генератора, стабилизатора струје побуде и разних контролних јединица за подешавање.
