Назив и функција сваког дела конфокалног микроскопа
Заснован на принципу конфокалне технологије, конфокални микроскоп се користи за мерење површине различитих прецизних уређаја и материјала на микро и нано нивоу и може директно да слика морфологију површине узорака материјала, са бочном резолуцијом до 1 нм. и резолуцијом З осе до 0.5 нм. Не само да може измерити морфологију површине узорка и обезбедити функцију карактеризације микроскопске морфологије мерења величине профила, већ такође обезбеђује пет главних аналитичких функција, као што су анализа храпавости, анализа геометријског профила, структурна анализа, анализа фреквенције и функционална анализа. анализа. Анализа храпавости, анализа геометријског профила, анализа конструкција, анализа фреквенција и функционална анализа су такође дати.
Анализа храпавости укључује анализу свих параметара према ИСО4287 храпавости линије, ИСО25178 храпавости површине, ИСО12781 равности итд.; анализа геометријских контура укључује мерења висине корака, растојања, угла, кривине и других карактеристика и процену правости, заобљености и толеранције облика; конструктивна анализа обухвата запремину рупа и дубину корита и сл.; фреквентна анализа обухвата правац зрна и анализу спектра; функционална анализа обухвата анализу правца и фреквентног спектра; анализа фреквенција обухвата анализу правца и фреквентног спектра; а доступна је и функционална анализа. Анализа фреквенције укључује анализу правца текстуре и спектра; Функционална анализа укључује СК параметре и параметре запремине.
Структура конфокалног микроскопа се углавном састоји од: микроскопа, ласерског извора светлости, уређаја за скенирање, детектора, рачунарског система (укључујући прикупљање података, обраду, конверзију, апликативни софтвер), уређаја за излаз слике, оптичког уређаја и конфокалног система.
У керамици, металима, полупроводницима, чиповима и другим областима науке о материјалима и инспекције производње, конфокални микроскоп има широк спектар примена. Конфокални микроскоп заснован на принципу конфокалне микроскопије, бесконтактног скенирања површине уређаја и успостављања 3Д слике површине, преко системског софтвера на површини уређаја обрада и анализа података 3Д слике, како би се добили 2Д, 3Д параметри који одражавају квалитет површине уређаја, да би се постигла морфологија површине уређаја 3Д мерење.
Може се широко користити у производњи полупроводника и инспекцији процеса паковања, 3Ц електронском стакленом екрану и његовим прецизним деловима, оптичкој обради, производњи микро-нано-материјала, аутомобилским деловима, МЕМС уређајима и другим ултра-прецизним машинским индустријама и ваздухопловству, научно-истраживачким институтима и друге области. Измерите и анализирајте профил површине, површинске дефекте, хабање, корозију, равност, храпавост, набореност, клиренс пора, висину корака, деформацију савијања, обраду и друге карактеристике површине различитих производа, компоненти и површина материјала.
